如何校準檢測半導體金相顯微鏡呢？怎樣的顯微鏡能稱為半導體金相顯微鏡呢？半導體金相顯微鏡是用于檢測哪些產品？半導體金相顯微鏡是鑒定成品材料質量必不可少的儀器。半導體金相顯微鏡主要通過材料顯微組織的定性，定量晶界組織等表征識別來對材料工藝流程，物理特性，失效成因等綜合因素做出科學的判斷，并對金屬細微結構以及非金屬夾雜物的分布形貌等進行科學研究。

如何校準檢測半導體金相顯微鏡？1、物鏡場曲。將一半導體金相顯微鏡物鏡安裝好，將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉調焦旋鈕，將焦點調整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉半導體金相顯微鏡調焦旋轉，把焦點調整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。半導體金相顯微鏡觀察千分表，其zui大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進行校準。2、物鏡放大倍數的正確性。半導體金相顯微鏡裝上10X標準目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。半導體金相顯微鏡觀察時測微尺應與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數的誤差。其余物鏡以此類推進行校校準，其誤差不大于5%。

3、目鏡分劃板的準確度。將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調好焦距；調整半導體金相顯微鏡工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向導軌行程平行并對好零位，按每20格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um。4、物鏡成像清晰范圍。用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進行調焦，使成像清晰。當視場中心像zui清晰時，半導體金相顯微鏡測得視場內的成像清晰范圍的誤差不低于60%。5、各物鏡相對于目鏡的格值。裝上被檢半導體金相顯微鏡的10X目鏡，將0.01mm標準測微尺（推薦使用隨機0.01mm測微尺）放在工作臺上并壓緊；調整測微尺標尺軸線與半導體金相顯微鏡目鏡分劃板標尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進行校準。

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