掃描倒置電子金相顯微鏡是六十年代發展起來的一種精密電子學儀器。利用它可以觀察塊狀樣品的表面形態，從而得出有關樣品立體結構的概念。金相顯微鏡一種用于掃描電子顯微鏡的新型電光儀器。它具有簡單的樣品制備、放大倍率可調范圍寬度、圖像分辨率高、景深等。掃描電子顯微鏡已被廣泛應用于生物學領域、醫學、冶金學幾十年，并促進了各相關學科的發展。掃描電子顯微鏡的特點：電子顯微鏡，高圖像分辨率，納米級分辨率，可調放大倍數和大，另一個重要特征是大景深和豐富的三維圖像。

我們要知道金相顯微鏡與掃描電鏡之間存在很大差異，主要表現在以下幾個方面：一、光源不同：金相顯微鏡使用可見光作為光源，掃描電子顯微鏡使用電子束作為光源進行成像。二、原理不同：金相顯微鏡采用幾何光學成像原理進行掃描，掃描電子顯微鏡使用高能電子束轟擊樣品表面，激發表面上的各種物理信號。采樣，然后使用不同的信號檢測器接收物理信號并將其轉換為圖像信息。

三、分辨率：由于光的干涉和衍射，金相顯微鏡只能限制在0.2-0.5um。掃描電子顯微鏡使用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm。因此，金相顯微鏡的微觀結構觀察屬于微米分析，掃描電子顯微鏡的觀察屬于納米尺度分析。四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此樣品的表面光滑度要求極高，因此制備過程相對復雜。 SEM的景深可以高達幾個。

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